高純氬的顆粒物檢測(cè)主要針對(duì)半導(dǎo)體、精密電子等對(duì)潔凈度要求極高的領(lǐng)域，顆粒物超標(biāo)會(huì)導(dǎo)致芯片短路、精密儀器磨損、實(shí)驗(yàn)誤差增大，因此需嚴(yán)格控制顆粒物含量。根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)要求，5N級(jí)高純氬中，≥0.1μm的顆粒物不得超過10個(gè)/L，≥0.5μm的顆粒物不得超過1個(gè)/L；6N級(jí)及以上高純氬的顆粒物控制要求更為嚴(yán)苛，需實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)顆粒物零檢出。顆粒物檢測(cè)采用高靈敏度激光粒子計(jì)數(shù)器，可精準(zhǔn)計(jì)數(shù)不同粒徑的顆粒物數(shù)量，檢測(cè)時(shí)，將高純氬樣品通過惰性材質(zhì)采樣接口引入儀器，控制采樣流速和采樣體積，確保采樣具有代表性。檢測(cè)前，需對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，清理采樣管路，在百級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行檢測(cè)，防止外界顆粒物污染樣品。

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