氧氣和氮?dú)怆s質(zhì)檢測(cè)是高純氬檢測(cè)的核心環(huán)節(jié)，這兩種雜質(zhì)是高純氬中最常見(jiàn)的雜質(zhì)，也是影響高純氬質(zhì)量的關(guān)鍵因素。氧氣作為強(qiáng)氧化劑，哪怕ppb級(jí)存在，也會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體元件氧化、高端焊縫氧化開(kāi)裂；氮?dú)鈺?huì)降低高純氬的惰性，影響精密冶金工藝穩(wěn)定性，5N級(jí)要求氧氣≤0.5ppm、氮?dú)?le;1.0ppm，6N級(jí)均≤0.1ppm。氧氣檢測(cè)常用激光吸收法，依托可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)，利用氧氣對(duì)特定波長(zhǎng)激光的選擇性吸收特性，精準(zhǔn)換算氧氣含量，檢測(cè)精度可達(dá)0.01ppm。氮?dú)鈾z測(cè)依托氣相色譜法，與純度檢測(cè)同步進(jìn)行，通過(guò)色譜柱分離后，由高靈敏度檢測(cè)器定量分析，檢測(cè)前需用對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)儀器，確保檢測(cè)精度。

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