水分檢測(cè)是高純氬檢測(cè)的關(guān)鍵雜質(zhì)項(xiàng)目，水分超標(biāo)會(huì)導(dǎo)致精密儀器腐蝕、半導(dǎo)體芯片氧化、高端焊接產(chǎn)生氣孔，因此高純氬對(duì)水分的控制極為嚴(yán)苛（5N級(jí)≤1.0ppm，6N級(jí)≤0.1ppm）。目前高純氬水分檢測(cè)常用兩種高精度方法，可互補(bǔ)使用。第一種是高精度露點(diǎn)法，選用進(jìn)口高精度露點(diǎn)儀，測(cè)量范圍可達(dá)-80℃~0℃，精度≤±0.5℃，通過(guò)檢測(cè)高純氬的露點(diǎn)溫度，結(jié)合專業(yè)換算表，精準(zhǔn)得出水分含量，可檢測(cè)到ppb級(jí)水分。第二種是卡爾·費(fèi)休庫(kù)侖法，靈敏度更高，可檢測(cè)到ppt級(jí)水分，利用卡爾·費(fèi)休試劑與水分的特異性反應(yīng)，通過(guò)庫(kù)侖滴定法精準(zhǔn)計(jì)算水分含量，檢測(cè)過(guò)程中需在惰性環(huán)境下進(jìn)行，避免環(huán)境水分干擾，確保試劑純度和檢測(cè)精度。

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