高純氬純度檢測是整個檢測體系的核心，因純度極高（≥99.999%），常規(guī)檢測方法無法滿足精度要求，目前行業(yè)內(nèi)最權(quán)威、最常用的方法是氣相色譜法，也是國家標準明確規(guī)定的含量測定方法。檢測時，需選用超高分離效能的毛細管柱（如新型5A分子篩毛細管柱），以超純氦氣（純度≥99.9999%）為載氣，嚴格控制柱溫、進樣口溫度和檢測器溫度，采用熱導(dǎo)檢測器（TCD）或氦離子化檢測器（HID），其中HID檢測器靈敏度更高，可精準檢測ppb級雜質(zhì)。通過氣體進樣閥將供試品精準注入色譜儀，記錄色譜圖后，按面積歸一化法計算氬氣含量，要求3次平行測定結(jié)果的相對標準偏差≤0.1%，采樣過程中需全程避免空氣混入，確保檢測結(jié)果精準可靠，適合實驗室精準檢測和高端生產(chǎn)現(xiàn)場檢測。

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