有害氣體雜質(zhì)檢測(cè)主要針對(duì)一氧化碳、二氧化碳、烴類等對(duì)高端生產(chǎn)和人體有潛在危害的組分，這類雜質(zhì)含量極低（ppb級(jí)），需采用高靈敏度檢測(cè)方法，是高純氬檢測(cè)的重要補(bǔ)充。其中，二氧化碳檢測(cè)采用傅里葉變換紅外光譜法，利用二氧化碳對(duì)特定紅外波段的吸收特性，精準(zhǔn)檢測(cè)其含量，檢測(cè)精度可達(dá)0.01ppm。一氧化碳檢測(cè)采用氣相色譜法搭配氫火焰離子化檢測(cè)器（FID），通過(guò)專用毛細(xì)管柱分離后，可精準(zhǔn)檢測(cè)到0.01ppm以下的一氧化碳。烴類雜質(zhì)檢測(cè)同樣采用氣相色譜法，選用專用極性毛細(xì)管柱，分離各類烴類組分后，通過(guò)FID檢測(cè)器定量分析，確保烴類總含量符合對(duì)應(yīng)等級(jí)限值，檢測(cè)過(guò)程中需保持檢測(cè)環(huán)境潔凈，避免外界干擾。

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