特氣管路五項(xiàng)測試核心之四——泄漏率測試，是密封性測試的延伸，更精準(zhǔn)檢測管路的微小泄漏，適用于對泄漏要求極高的高端特氣場景（如電子級、醫(yī)藥級特氣）。與常規(guī)密封性測試相比，泄漏率測試精度更高，可檢測出ppb級的微小泄漏，測試方法主要采用氦質(zhì)譜檢漏法，向管路內(nèi)充入氦氣，通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測管路周圍的氦氣濃度，計(jì)算泄漏率，確保泄漏率符合標(biāo)準(zhǔn)限值。對于有毒有害、易燃易爆特氣，微小泄漏也可能引發(fā)安全隱患，因此泄漏率測試是保障特氣長期安全輸送的重要環(huán)節(jié)。

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