特氣管路五項測試的常用設備，根據(jù)測試項目不同分為五大類，相互配合完成全流程測試。密封性和耐壓性測試常用壓力變送器、壓力表、皂液檢測儀；潔凈度測試常用粒子計數(shù)器、露點儀、氣相色譜儀；泄漏率測試核心設備為氦質(zhì)譜檢漏儀，精度可達ppb級；氣體兼容性測試需用到恒溫恒壓箱、成分分析儀等。這些設備需定期校準，確保檢測精度，同時需配備專用采樣工具、惰性氣體鋼瓶等輔助設備，避免測試過程中引入雜質(zhì)或引發(fā)安全隱患，保障測試工作順利開展。

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