特氣管路五項測試核心之二——潔凈度測試，核心檢測管路內壁的顆粒物、油污、水分等雜質含量，確保輸送的特氣不受污染，適配高端應用場景。特氣管路多用于輸送高純特氣，管路內壁的微小雜質會污染氣體，影響下游產品質量，如電子級特氣管路的雜質會導致芯片短路、顯示面板壞點。測試方法主要采用粒子計數(shù)器檢測顆粒物含量，露點儀檢測水分含量，通過專業(yè)采樣工具采集管路內氣體，分析雜質指標是否符合行業(yè)標準，潔凈度測試需在管路安裝完畢、吹掃干凈后進行，確保管路內壁無殘留雜質。

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