高純氮的制備以空氣分離技術為核心，主流工藝包括深冷空分法和變壓吸附法（PSA）。深冷空分法通過壓縮、冷卻、膨脹使空氣液化，再利用各組分沸點差異（氮沸點-195.8℃，氧沸點-183℃）進行精餾，得到高純度液氮，經汽化后獲得高純氮。該工藝適合大規(guī)模生產，但設備投資高。變壓吸附法則利用分子篩對O₂、H₂O等雜質的吸附選擇性，在高壓下吸附雜質，低壓下解吸再生，循環(huán)操作實現(xiàn)氮氣提純，具有流程簡單、能耗低的優(yōu)勢，適用于中小規(guī)模高純氮需求。

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