電子工業(yè)對高純氮的特殊需求

電子工業(yè)（尤其是半導(dǎo)體）對氮氣的純度要求極高（≥99.999%），雜質(zhì)（如氧、水、烴類）含量需低于0.1ppm。在芯片制造中，氮氣用于晶圓清洗后的干燥環(huán)節(jié)，防止水汽殘留導(dǎo)致電路短路；在薄膜沉積（CVD）和離子刻蝕工序中，氮氣作為載氣或反應(yīng)氣，參與形成氮化硅等絕緣層。若氮氣純度不足，可能導(dǎo)致器件良率下降甚至報廢，因此電子級氮氣需經(jīng)多級過濾、催化除氧和吸附脫水處理。

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