電子工業(yè)用氣體的核心檢測指標(biāo)，主要分為純度指標(biāo)、痕量雜質(zhì)指標(biāo)和組分配比指標(biāo)三大類，均有嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)限值。純度指標(biāo)是基礎(chǔ)要求，不同用途的氣體純度要求差異較大，例如半導(dǎo)體外延用硅烷純度需≥99.9999%，光伏用氫氣純度需≥99.999%，純度不達(dá)標(biāo)會(huì)直接導(dǎo)致生產(chǎn)工藝失敗。痕量雜質(zhì)指標(biāo)是檢測重點(diǎn)，需檢測金屬離子（如鈉、鉀、鐵）、水分、顆粒物、有害氣體雜質(zhì)等，其中雜質(zhì)含量需控制在ppb級(jí)（十億分之一）甚至ppt級(jí)（萬億分之一），例如水分含量需≤10ppb，金屬離子含量需≤1ppt，避免雜質(zhì)污染芯片、影響元器件性能。組分配比指標(biāo)主要針對(duì)混合電子特氣，需精準(zhǔn)檢測各組分比例，確保符合生產(chǎn)工藝要求。

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