超純氮在高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中是不可或缺的核心基礎(chǔ)氣體，對純度要求達到極致，通常需使用7N-8N級超純氮，是高端芯片、集成電路制造全流程的關(guān)鍵輔助氣體。在7nm及以下制程芯片的光刻、蝕刻、沉積、離子注入、封裝等每一個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，都需要在超純氮保護氛圍中進行，可徹底隔絕空氣，防止芯片表面氧化、污染，避免微量雜質(zhì)導(dǎo)致芯片短路、性能下降或報廢。此外，超純氮還用于半導(dǎo)體晶圓的精密清洗、干燥，去除晶圓表面的痕量水分和雜質(zhì)，確保晶圓純度，支撐高端芯片、量子芯片的規(guī)模化、精細(xì)化生產(chǎn)。

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