工藝卡點特性
1)提高產(chǎn)品成品率:硅片裝夾牢固,減少掉片現(xiàn)象,減少氮化硅的色差片,提高了成品率
2)工藝點鉤點小,新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是.472mm2,新的菱形工藝點鉤點面積是0.619mm2
3)使用壽命可達(dá)到90天
4)采用半導(dǎo)體高純涂層石墨,硬度高、耐磨、使用壽命長
工藝卡點特性
1)提高產(chǎn)品成品率:硅片裝夾牢固,減少掉片現(xiàn)象,減少氮化硅的色差片,提高了成品率
2)工藝點鉤點小,新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是.472mm2,新的菱形工藝點鉤點面積是0.619mm2
3)使用壽命可達(dá)到90天
4)采用半導(dǎo)體高純涂層石墨,硬度高、耐磨、使用壽命長
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