CF4泄漏測(cè)試是保障安全與環(huán)保的關(guān)鍵，結(jié)合CF₄無(wú)色、無(wú)味、惰性、難以降解的特性，需采用高靈敏度的測(cè)試方法，實(shí)現(xiàn)快速、精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)，避免泄漏隱患。常用測(cè)試方法主要有四種：第一種是紅外泄漏檢測(cè)法，利用紅外檢測(cè)儀捕捉CF₄泄漏時(shí)的紅外特征信號(hào)，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離、無(wú)接觸檢測(cè)，精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn)，適合儲(chǔ)罐、長(zhǎng)距離管路的泄漏檢測(cè)；第二種是質(zhì)譜泄漏檢測(cè)法，靈敏度極高，可檢測(cè)到ppb級(jí)的CF₄泄漏，適合電子、半導(dǎo)體車間等密閉空間的泄漏檢測(cè)，防范局部積聚；第三種是壓力降檢測(cè)法，針對(duì)CF₄儲(chǔ)罐、鋼瓶等密閉容器，關(guān)閉閥門(mén)后加壓，監(jiān)測(cè)壓力變化，若壓力下降超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，說(shuō)明存在泄漏，適合靜態(tài)泄漏檢測(cè)；第四種是皂液檢測(cè)法，將專用皂液涂抹在儲(chǔ)罐、管路、接口等關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，若出現(xiàn)氣泡，說(shuō)明存在泄漏，適合日常簡(jiǎn)易排查，操作簡(jiǎn)便、成本極低，但僅適用于可見(jiàn)部位的泄漏檢測(cè)。

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