CF4純度測試是最基礎、最核心的測試類型，核心是“精準檢測、去除干擾”，結合CF₄的化學特性，采用多種專業(yè)測試方法，適配不同純度要求的場景。常用測試方法主要有三種：第一種是氣相色譜法，這是目前CF4純度測試最主流的方法，利用氣相色譜儀分離CF₄與雜質組分，通過檢測器精準測量各組分含量，計算CF₄純度，具有分辨率高、檢測精準、速度快的優(yōu)勢，適配高純度CF₄測試；第二種是質譜法，針對高端場景（如半導體芯片制造），利用質譜儀檢測CF₄中的微量雜質，檢測精度可達ppb級，確保雜質含量符合嚴苛標準；第三種是紅外吸收法，利用CF₄對特定波長紅外光的吸收特性，檢測其純度，適合中低純度CF₄的快速檢測，操作簡便、成本較低，常用于日常簡易排查。

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