氫氣的易燃易爆特性決定了電子級氫氣在生產(chǎn)、儲存、運輸和使用過程中的安全管控至關(guān)重要,必須建立全流程、全方位的安全防護體系,杜絕安全事故發(fā)生。在生產(chǎn)環(huán)節(jié),制氫、提純車間需采用防爆設(shè)計,安裝氫氣泄漏檢測儀、防爆風(fēng)機等設(shè)備,嚴禁明火和靜電產(chǎn)生,操作人員需穿戴防靜電服裝、佩戴專用防護裝備;在儲存環(huán)節(jié),儲氫設(shè)備需遠離火源、熱源,設(shè)置防火間距,定期進行氣密性檢測,防止氫氣泄漏;在使用環(huán)節(jié),電子制造車間的氫氣管道需采用防泄漏設(shè)計,配備緊急切斷閥,一旦發(fā)生泄漏,可快速切斷氣源并進行通風(fēng)稀釋;此外,還需建立完善的安全管理制度和應(yīng)急處置預(yù)案,定期開展安全培訓(xùn)和應(yīng)急演練,確保操作人員熟練掌握安全防護知識和應(yīng)急處置技能。
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