一、簡介 GB/T1410半導(dǎo)電屏蔽體積電阻率智能測試儀是運(yùn)用四探針原理測量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時顯示。儀器 測試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%�？捎糜跍y試半導(dǎo)體、⾦屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無人工多次和重復(fù)設(shè)置。 四端測試法是目前較之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。 GB/T1410半導(dǎo)電屏蔽體積電阻率智能測試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購.提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求。 二、特點(diǎn) 測試探頭直排和矩形可選； 標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接⼝； 可配戴軟件查看和記錄測試數(shù)據(jù)；電阻⾼精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ； 方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ； 雙電測原理，提⾼精度和穩(wěn)定性； 三、適用范圍 四探針治具測試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率 開爾文測試夾直接測試電阻器直流電阻； 四、參數(shù) 1.便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用； 2.基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。 3.精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％； 方阻基本準(zhǔn)確度：1%； 電阻率基本準(zhǔn)確度：1% 4.整機(jī)測量大相對誤差：±1%；整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：±1% 5.正反向電流源修正測量電阻誤差 6.恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。 7.可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。 8.厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無查表即可計(jì)算出電阻率。 9.自動進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均 值.測薄片時,可自動進(jìn)行厚度修正。 10.雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好. 11.具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。 12.比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。 13.測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。 14.軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。 固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了團(tuán)體維緣材料體和電阻率和表而電國求的試驗(yàn)方法，這些試股方法向括對固體換修材料體積電阻和表面電阻的測定程序及體積電阻率和表面電阻率的計(jì)算方法。 體積電阻和表面電阻的試驗(yàn)都受到下列因素影響:施加電壓的大小和時間;電極的性質(zhì)和尺寸;在試樣處理和測試過程中周圍大氣條件和試樣的溫度、濕度。 2規(guī)范性引用文件 下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)， GB/T 10064--2006測定固體絕緣材料地球電阻的試驗(yàn)方法(TEC 60167:1964,IDT) GB/T 10580-2003國體絕緣材料在試驗(yàn)前和試驗(yàn)時采用的標(biāo)準(zhǔn)條件(IEC60212,1971,IDT)IEC 60260:1968非讓人貳恒定檔對整度的試驗(yàn)箱 關(guān)鍵內(nèi)容梳理清楚： 一、核心概念與標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) ‌體積電阻率‌：反映材料內(nèi)部對電流的阻礙能力，單位是Ω·m或Ω·cm。 ‌表面電阻率‌：衡量材料表面導(dǎo)電性，單位是Ω/□。 ‌主要標(biāo)準(zhǔn)‌：GB/T 1410-2006（國內(nèi)通用）和IEC 93（國際等效），規(guī)定了測試流程和計(jì)算方法。 二、測試方法詳解 1. 體積電阻率測試 ‌原理‌：在材料相對兩面加直流電壓，測量穩(wěn)態(tài)電流，計(jì)算電阻率。 ‌步驟‌： 準(zhǔn)備樣品：切割成圓片，去除表面氧化層。 設(shè)備：直流高阻儀、電源（輸出電壓約5V）。 操作：連接電極，記錄電壓和電流，計(jì)算電阻率。 ‌關(guān)鍵點(diǎn)‌： 穩(wěn)定時間：低電阻率材料（<10¹⁰ Ω·m）1分鐘內(nèi)可穩(wěn)定。 環(huán)境控制：需在干燥通風(fēng)條件下進(jìn)行。 2. 表面電阻率測試 ‌原理‌：在材料表面加電壓，測量電流，計(jì)算電阻率。 ‌步驟‌： 準(zhǔn)備樣品：同體積電阻率測試。 設(shè)備：直流低阻儀、電源（輸出電壓約10V）。 操作：連接電極，記錄電壓和電流，計(jì)算電阻率。 ‌關(guān)鍵點(diǎn)‌： 電極系統(tǒng)：常用三電極法（護(hù)環(huán)電極+主電極）。 環(huán)境控制：需在溫濕度穩(wěn)定條件下進(jìn)行。 三、影響因素與注意事項(xiàng) ‌電壓與時間‌：影響極化效應(yīng)和電流穩(wěn)定性。 ‌電極特性‌：尺寸和材質(zhì)影響接觸電阻和測量精度。 ‌環(huán)境條件‌：溫濕度顯著影響電阻率，需記錄環(huán)境參數(shù)。 ‌操作要點(diǎn)‌： 電極清潔：避免雜質(zhì)影響接觸。 加壓方式：按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定操作，確保結(jié)果可比性。 儀器量程：選擇合適量程，避免讀數(shù)誤差。 四、應(yīng)用與意義 ‌材料選擇‌：體積電阻率是選材關(guān)鍵參數(shù)。 ‌質(zhì)量檢測‌：用于檢查材料均勻性和雜質(zhì)。 ‌性能評估‌：結(jié)合介電常數(shù)、耐壓強(qiáng)度等參數(shù)，全面評估絕緣性能。