松盛國產(chǎn)氣體動態(tài)配氣裝置：采用PLC一體化控制實現(xiàn)配氣、控壓和測壓的功能，并可通過各路流量來控制配氣比例、系統(tǒng)壓力等。稀釋范圍從10-1000倍（可按需定制），流量輸出0.5-1000L/min，具有自動或手動稀釋模式，可設(shè)備中自行選擇應(yīng)用模式。裝置中采用高精度的熱式流量控制器，并經(jīng)高精度流量計校準(zhǔn)，流量偏差可控制在±0.5%以內(nèi)，重復(fù)性小于±0.2%，稀釋設(shè)備的精度優(yōu)于±1%（可選更高精度）。