機械運動部分
- 多軸運動控制系統(tǒng)，XY軸選用直線電機，光柵閉環(huán)控制，光柵尺分辨率1 μm
- X軸行程：400mm；
- Y軸行程：400mm；
- Z軸行程：50mm；
- 探頭角度調整：手動或電動AB軸；
超聲儀器傳感器
- 脈沖激勵電壓：100-475V；200-900V可選；
- 系統(tǒng)通頻帶：0.1-35MHz；1-60MHz；5-300MHz
- 采樣頻率：100MHz到1GHz可調；
- 重復頻率：高能量5KHz；低能量20 KHz；
- 采樣深度：8位或14位；
- 高頻聚焦換能器：100MHz或150MHz
軟件部分功能
- 光柵位置精確觸發(fā)，最小10μm采樣間隔；
- DMA高速數(shù)據(jù)傳輸，全波數(shù)據(jù)采集，閘門動態(tài)重構；
- ABCD信號和圖像多種顯示模式；
- 時域信號峰值和相位成像、頻域峰值等多種成像模式；
- 多閘門設置、表面波或底面波閘門跟隨；

涂層結合強度無損檢測儀器是利用高頻超聲脈沖回波對涂層材料與工件基材之間的相互作用機理來判定結合強度的一種無損檢測設備。可以針對涂層與基材聲阻抗差在10倍以上的工件實施涂層結合強度分級判定的功能，適用于各種金屬基工件的高分子或者復合材料涂層結合力測試。

    該檢測儀器還兼具超聲顯微鏡的功能，通過超聲波對工件內部細微結構或缺陷成像，能夠檢測出材料內部裂紋、分層、空洞等缺陷。半導體和微電子領域廣泛用于芯片釬焊缺陷、電子封裝缺陷、柔性電路版斷線等質量檢測；焊接領域可以用于點焊、弧焊、激光焊、擴散焊等質量檢測。支持XYZAB軸五軸聯(lián)動，可以檢測盤類工件、復雜曲面工件