純氬的制備以空氣為原料，核心通過“空氣分離+深度提純”兩步工藝實(shí)現(xiàn)，工業(yè)規(guī)模化生產(chǎn)以低溫精餾法為主。第一步，將空氣壓縮、凈化，去除水分、二氧化碳、灰塵等粗雜質(zhì)，冷卻至-196℃液化后，送入精餾塔，利用氬氣、氮?dú)�、氧氣的沸點(diǎn)差異，分離出粗氬氣（純度約95%-99%）。第二步，深度提純，根據(jù)純度需求采用不同技術(shù)：工業(yè)高純級采用變壓吸附法，通過分子篩吸附微量雜質(zhì)；電子高純級和超純級采用低溫精餾與催化凈化聯(lián)用技術(shù)，通過多級精餾去除微量氮?dú)狻⒀鯕�，再�?jīng)催化脫除痕量雜質(zhì)，最終獲得符合標(biāo)準(zhǔn)的純氬。實(shí)驗(yàn)室少量純氬可通過提純普通氬氣獲得，但成本較高，僅適用于科研場景。

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