高純氧的生產(chǎn)以空氣為原料，核心是通過“基礎(chǔ)分離+多級深度提純”的組合工藝，實現(xiàn)微量雜質(zhì)的徹底去除，主流工藝以深冷空分法為主，輔以變壓吸附（PSA）提純、膜分離提純的深度凈化工序。首先通過深冷空分法將空氣壓縮、凈化、冷卻至液化狀態(tài)，利用氧（沸點-183℃）與氮（沸點-196℃）的沸點差異，通過多級精餾實現(xiàn)初步分離，得到高純度氧氣中間產(chǎn)品；再經(jīng)過精密吸附、低溫精餾、膜分離過濾等多道工序，去除剩余的微量氮氣、氬氣等雜質(zhì)，最終制得99.999%及以上純度的高純氧，生產(chǎn)過程需全程精準(zhǔn)控制溫度、壓力等參數(shù)，設(shè)備精度極高。

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