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氙氣的用途是用在電子芯片制造業(yè)，也是目前氙需求增長及對氙投機買賣的最重要原因，幾家大型芯片制造商正使
用氙氣等離子蝕刻，主要用于微電子機械系統(tǒng)（ MEMS ）的制造。MEMS設備可將微電子和微機械集成為一個整體，能
在一塊芯片上制作更復雜及功效更強的電路。這種技術從根本上把電腦芯片（處理數(shù)據(jù)）和傳感器（收集數(shù)據(jù)）結合到
一個元件上，可以批量生產(chǎn)，這種芯片的潛在用途不可限量，氙氣蝕刻工藝就由一些半導體制造商用于生產(chǎn)這種超級芯片.