高純氣體檢測的常用設(shè)備，根據(jù)檢測場景分為實(shí)驗(yàn)室精密設(shè)備和現(xiàn)場在線設(shè)備兩大類，相互補(bǔ)充、協(xié)同發(fā)力。實(shí)驗(yàn)室設(shè)備以氣相色譜儀、質(zhì)譜儀為核心，搭配專用檢測器和預(yù)處理系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高純氣體純度和痕量雜質(zhì)的精準(zhǔn)定性定量檢測，適用于質(zhì)量仲裁、產(chǎn)品驗(yàn)收、高端研發(fā)等場景�，F(xiàn)場在線設(shè)備包括在線氣相色譜儀、便攜式露點(diǎn)儀、痕量雜質(zhì)檢測儀等，體積小巧、響應(yīng)快速，可實(shí)現(xiàn)高純氣體生產(chǎn)、儲存、運(yùn)輸過程中的實(shí)時監(jiān)控，及時反饋純度和雜質(zhì)變化，防范現(xiàn)場安全隱患。此外，采樣需采用惰性取樣管、無菌氣袋等專用工具，避免樣品污染。

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