從制備原理來看，高純氬的獲取主要依賴空氣分離技術，與純氧、純氮的制備工藝有相似之處，但提純難度更高。目前工業(yè)上最常用的是深冷分離法，先將空氣壓縮、冷卻至液態(tài)，利用不同氣體的沸點差異，依次分離出氮氣、氧氣，再對剩余的稀有氣體混合物進行進一步精餾、提純，去除氖、氪、氙等雜質，最終得到純度達99.999%以上的高純氬。此外，還有變壓吸附法等輔助工藝，可根據實際需求制備不同純度的氬氣，滿足不同領域的使用要求。

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