在半導(dǎo)體制造、光伏鍍膜、真空檢測等對真空性能與可靠性要求極高的領(lǐng)域，我們推出的脂潤滑復(fù)合分子泵以緊湊設(shè)計、低污染與高穩(wěn)定性為核心，為您提供兼具經(jīng)濟性與高性能的真空解決方案。

核心優(yōu)勢

• 緊湊設(shè)計，靈活適配

作為緊湊型高性能分子泵，擁有700L/S、1300L/S、2000L/S多檔抽速可選，結(jié)構(gòu)緊湊且支持任意角度安裝，能夠輕松適配不同尺寸的真空腔體與復(fù)雜的設(shè)備布局，安裝自由度極高。

• 脂潤滑低污染，守護(hù)工藝潔凈

采用脂潤滑技術(shù)，對真空系統(tǒng)的污染極小，無需頻繁更換油液，有效避免了油蒸汽對工藝環(huán)境的干擾，特別適合對潔凈度有較高要求的半導(dǎo)體、制燈與真空檢漏場景。

• 高穩(wěn)定長壽命，降低運維成本

搭載陶瓷軸承，運行振動值≤0.1μm，啟動時間＜5分鐘，配合風(fēng)冷散熱設(shè)計，設(shè)備可長期穩(wěn)定運行，大幅減少非計劃停機；脂潤滑設(shè)計也讓日常維護(hù)更簡便，有效降低全生命周期成本。

• 多場景適配，行業(yè)覆蓋廣

性能穩(wěn)定、適配性強，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、太陽能電池、玻璃鍍膜、加速器、等離子技術(shù)、制燈及真空檢漏等行業(yè)，滿足多領(lǐng)域的高性能真空需求。

典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體與微電子：芯片制造、晶圓加工等真空環(huán)節(jié)

• 光伏與光學(xué)：太陽能電池鍍膜、玻璃鍍膜、制燈工藝

• 科研與檢測：粒子加速器、真空檢漏設(shè)備、表面分析儀器

• 工業(yè)制造：等離子體處理、精密電子器件封裝

服務(wù)與支持

我們提供從泵型選型、系統(tǒng)集成到現(xiàn)場調(diào)試的全流程服務(wù)，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊可根據(jù)您的工況需求定制解決方案，并提供7×24小時技術(shù)響應(yīng)，保障您的真空系統(tǒng)持續(xù)高效運行。