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高純氫是電子、冶金、科研等高端領(lǐng)域的關(guān)鍵材料,對(duì)純度和雜質(zhì)要求極為嚴(yán)苛。工業(yè)氫純度一般為 99%~99.9%,純氫≥99.99%,高純氫≥99.999%,超純氫≥99.9999%。在半導(dǎo)體、芯片制造中,氫氣作為還原氣和保護(hù)氣,雜質(zhì)含量必須控制在 ppb 級(jí)別,微量雜質(zhì)即可導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷報(bào)廢。在光伏行業(yè),氫氣用于硅片外延、鈍化處理,影響電池轉(zhuǎn)換效率。在光纖制造中,氫氣用于光纖拉絲保護(hù),保證光纖傳輸性能。高純氫制備需要經(jīng)過(guò)多級(jí)提純,包括吸附、干燥、催化脫氧、過(guò)濾等工藝。常見提純技術(shù)有變壓吸附、鈀膜提純、低溫純化等。隨著我國(guó)高端制造業(yè)快速發(fā)展,對(duì)高純氫、超純氫的需求持續(xù)增長(zhǎng),推動(dòng)氣體提純技術(shù)不斷進(jìn)步。

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