高純氫在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是高純氫高端應(yīng)用場(chǎng)景的核心代表，對(duì)氫氣純度要求極高，需完全符合GB/T 3634.2-2025中高純氫（5N級(jí)）及以上的純度要求。其主要應(yīng)用場(chǎng)景包括三個(gè)方面：一是芯片外延生長(zhǎng)，高純氫作為載氣和還原氣，將半導(dǎo)體材料（如硅、鍺）的氣態(tài)化合物輸送至襯底表面，同時(shí)還原其中的雜質(zhì)，確保外延層的純度和均勻性；二是芯片清洗，高純氫可用于半導(dǎo)體芯片表面的干法清洗，去除芯片表面的氧化層和微量雜質(zhì)，避免雜質(zhì)影響芯片的電氣性能；三是離子注入，高純氫作為輔助氣體，改善離子注入的均勻性，提升芯片的性能和穩(wěn)定性。半導(dǎo)體芯片的集成度越高，對(duì)高純氫的純度要求越嚴(yán)苛，高純氫的質(zhì)量直接決定芯片的良品率。

江蘇科海|氫氣檢測(cè)

GB/T 3634.2-2025《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》于2026年5月1日即將實(shí)施，全面代替2011舊標(biāo)。江蘇科海檢驗(yàn)有限公司現(xiàn)已具備新標(biāo)檢測(cè)能力，可為企業(yè)提供從產(chǎn)品檢測(cè)、質(zhì)量評(píng)價(jià)到技術(shù)咨詢的一站式全方位服務(wù)。

江蘇科海檢驗(yàn)有限公司是一家從事氣體及其相關(guān)產(chǎn)品檢測(cè)的第三方檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，持有 CMA 資質(zhì)證書，是參與GB/T 3634.2-2025《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》起草單位之一。公司擁有從事檢測(cè)服務(wù)的實(shí)驗(yàn)室管理人員和技術(shù)人員、多種精密檢測(cè)儀器，能夠同時(shí)滿足多種檢測(cè)需求。熱烈歡迎廣大客戶來(lái)電洽談業(yè)務(wù)！