PTL-VRK1000是一款高性價(jià)比的干法去膠設(shè)備，可用于尺寸6英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理，等離子去膠的工作原理是將愛有光刻膠的外延片/品圓放置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，通入少量氧氣，利用電壓放電，把氧氣(02)電離成激發(fā)態(tài)的氫原子(0)，然后氧原子和抗飩劑中的C和H快速反應(yīng)，生成CO、CO2和H20等揮發(fā)性氣體，用真空泵抽走，以達(dá)到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡(jiǎn)單去膠效率高、去膠后晶國(guó)表面于凈光潔而且無(wú)劃痕、成本低、環(huán)保，有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量。