濕電子化學品是電子行業(yè)濕法制程的關鍵材料。濕電子化學品屬于電子化學品 領域的一個分支，是微電子、光電子濕法工藝制程（主要包括濕法蝕刻、清洗、顯 影、互聯(lián)等）中使用的各種液體化工材料。超凈高純試劑是在通用試劑基礎上發(fā)展 起來的純度高的試劑，其雜質(zhì)含量較優(yōu)級試劑低幾個數(shù)量級。濕電子化學品是對 “電子級試劑”、“超凈高純化學試劑”更為合理準確的表達。國內(nèi)的超凈高純試劑， 在國際上通稱為工藝化學品（Process Chemicals）， 在美國、歐洲和我國臺灣地區(qū)稱 為濕化學品（Wet Chemicals），是指主體成分純度大于 99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù) 符合嚴格要求的化學試劑，其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能和可靠 性有十分重要的影響。

按照組成成分和應用工藝不同，濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化 學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主，一般為單組份、單功能、被大量使 用的液體化學品，按照性質(zhì)劃分可分為：酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類 包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等；堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等；有機溶劑類包括甲醇、乙醇、乙酸乙酯等；其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復配 類化學品，即在單一的超凈高純試劑（或多種超凈高純試劑的配合）基礎上，加入 水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學品。例如剝離液、顯影液、蝕 刻液、清洗液等。由于多數(shù)功能濕電子化學品是復配的化學品，是混合物，它的理 化指標很難通過普通儀器定量檢測，只能通過應用手段來評價其有效性。