過濾裝置是實現(xiàn)凈化手段的主要組成部分，潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工氣的需要，是保證產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必須的。空氣的凈化處理空氣過濾器分類：**類為粗、中效、亞高效、高效及超高效，所濾粒徑分別為≥5 μm、＞1 μm、＜1 μm、≥0.5 μm、≥0.1 μm；**類為高效過濾效率分為A、B、C、D，效率為99.9％、99.99％、99.999％、99.999％（粒徑 0.1 μm）。過濾器的設置：粗效過濾設于新風機預處理；中效過濾用于高效前的預過濾，延長高效過濾器的壽命；高效過濾器設在潔凈室內(nèi)，是保證潔凈度的關鍵。高效過濾器設在潔凈室，是指在生產(chǎn)過程中不產(chǎn)生有害物時，為節(jié)能盡量利用回風。對高潔凈度等級的單向流潔凈室采用新風集中處理加FFU凈化空調(diào)系統(tǒng)。即由多臺風機過濾器單元設備組成的實現(xiàn)潔凈室回風的直接循環(huán)。變頻調(diào)速風機：在凈化空調(diào)系統(tǒng)中因阻力的變化而影響風量時而采用變頻調(diào)速以達到定風量或定壓控制，是通過高效過濾器的壓差變化控制變頻裝置，實踐證明該系統(tǒng)具有明顯。

     通風管道的材料，金屬風管的材料、規(guī)格、性能與厚度等符合設計和現(xiàn)行國家標準的規(guī)定。當無設計規(guī)定時，應按規(guī)范執(zhí)行。并有相應出廠檢驗合格證；（2）非金屬風管的材料品種、規(guī)格、性能與厚度等應符合設計要求和國家現(xiàn)行產(chǎn)品標準規(guī)定。當無設計時，應按規(guī)范執(zhí)行。并有相應出廠檢驗合格證。非金屬風管應提供防火及衛(wèi)生檢測合格證明；（3）防火風管的材料，框架與固定材料、密封墊料必須為不燃材料，其耐火等級應符合設計規(guī)定。檢查數(shù)量：按材料加工批數(shù)量抽查10%，不應少于5件。檢查方法：查驗質(zhì)量合格證明文件、性能檢測報告、觀察檢查點燃試驗；（4）復合材料風管的覆面材料必須為不燃材料，內(nèi)部的絕緣材料亦為不燃或難燃B1級，且對人體無害。按材料加工批數(shù)量抽查10%，不應少于5件。檢查方法：查驗質(zhì)量合格證明文件、性能檢測報告、觀察檢查點燃試驗；（5）鍍鋅薄鋼板表面不得有裂紋、結(jié)疤及劃傷等缺陷，應有鍍鋅層結(jié)晶花紋，不得有明顯氧化層、針孔、麻點、起皮和鍍層脫落等缺陷；（6）鍍鋅板材應具有良好的塑性、導電、導熱性能及耐腐蝕性能，表面不得有劃痕及磨損