催化燃燒脫附的實質是利用催化燃燒的熱空氣加熱活性炭中被吸附的溶劑，使之達到溶劑的沸點，使溶劑從活性炭中脫附出來，并且把這高濃度的廢氣引入到催化燃燒反應器中。在～250℃的催化起燃溫度下，通過催化劑的作用進行氧化反應轉化為的水和二氣化碳排入大氣。是一個化學反應過程。并非明火的燃燒，且能解決脫附時的二次污染。