在現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響，所以作為能全面、真實反映零件表面特性的表面三維微觀形貌測量就越來越重要。
光學(xué)干涉三維輪廓儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。
工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光*終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學(xué)干涉三維輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100%
水平調(diào)整：±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器SuperView W1光學(xué)干涉三維輪廓儀，在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。
